Elektronik Kimyasallar G4 Fosforik Asit (Yarı İletken Islak Kimyasal)

Elektronik Kimyasallar G4 Fosforik Asit (Yarı İletken Islak Kimyasal)

Doküman Revizyonu: 01
Yayın Tarihi: 2026-09-02
Geçerli Standart: SEMI G4 Sınıfı (Yarı İletken Ultra-Yüksek Saflıkta Islak Kimyasal)

Ürün Tanımlaması

 

Öğe

Şartname

Ürün Adı

G4 Fosforik Asit

Ürün Kategorisi

Yarı İletken Elektronik Islak Kimyasal

Kimyasal Adı

Fosforik Asit

Kimyasal Formül

H₃PO₄

CAS No.

7664-38-2

Molekül Ağırlığı

98.00

BM Numarası

1805

Seviye

SEMI G4 Ultra-Yüksek Saflıkta Elektronik Sınıf

 

Ürüne Genel Bakış

 

G4 Fosforik Asit, gelişmiş yarı iletken plaka üretimi ve mikroelektronik üretimi için özel olarak rafine edilmiş, ultra-yüksek-saflıkta zayıf bir inorganik asittir. Çok-aşamalı saflaştırma, ultra-hassas filtreleme ve Sınıf 1000 temiz oda sızdırmaz doldurma işlemleriyle üretilen ürün, son derece düşük eser miktarda metal iyonları, anyonik safsızlıklar ve mikro-partiküller içerir ve katı SEMI G4 uluslararası yarı iletken standartlarıyla tamamen uyumludur.

 

Bu kimyasal, istikrarlı aşındırma hızı ve üstün proses kontrol edilebilirliği ile silikon nitrür, alüminyum ince filmler ve spesifik dielektrik malzemeler için mükemmel seçici aşındırma performansına sahiptir. Silikon alt katmanlara ve oksit katmanlarına minimum düzeyde zarar vererek yüzeydeki kalıntı kirleticileri etkili bir şekilde giderir ve gelişmiş levha işlemleri için ultra-yüksek temizlik gereksinimlerini karşılar. Sıkı kirlilik kontrolü, mikro-kusur risklerini ortadan kaldırarak yüksek-hassas yarı iletken üretimi için yüksek verim ve istikrarlı çalışma sağlar.

 

Dış görünüş:Renksiz, şeffaf, şurup kıvamında viskoz sıvı, kokusuz

 

Teknik Özellikler (SEMI G4 Standardı)

 

Test Öğesi

Şartname

H₃PO₄ Testi

84,0 ~ 86.0 ağırlıkça %

Dış görünüş

Renksiz ve berrak şeffaf viskoz sıvı

Renk (APHA)

10'dan küçük veya ona eşit

Yoğunluk @ 20 derece

1,68 ~ 1,71 g/cm³

Buharlaşma Kalıntısı

30 ppb'ye eşit veya daha az

Bireysel Eser Metaller (Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr)

Her biri 10 ppb'den az veya eşit

Sülfat (SO₄²⁻)

30 ppb'ye eşit veya daha az

Klorür (Cl⁻)

30 ppb'ye eşit veya daha az

Nitrat (NO₃⁻)

30 ppb'ye eşit veya daha az

İndirgen Maddeler (H₃PO₃ olarak)

50 ppb'ye eşit veya daha az

0,2μm'den büyük veya eşit parçacıklar

100 adet/mL'den az veya buna eşit

 

Not:Tüm test verileri, toplu-özel COA'ya (Analiz Sertifikası) dayanmaktadır.

 

Uygulamalar (Yarı İletken Islak Proses)

 

Silikon Nitrür ve Alüminyum Film Aşındırma:Si₃N₄ ince filmlerin, alüminyum metal geçitlerin ve alüminyum tampon katmanlarının hassas şekilde aşındırılmasında kullanılan, yarı iletken ön uç işlemlerine yönelik ıslak çekirdek aşındırma kimyasalı. Mükemmel aşındırma seçiciliğine sahiptir, silikon oksidi ve silikon alt tabakayı etkili bir şekilde korurken aynı zamanda düzgün ve stabil aşındırma morfolojisi sağlar.

Gofret Yüzeyi Hassas Temizliği:Aşındırma ve biriktirme işlemleri sırasında oluşan mikro-parçacıkları, artık inorganik yabancı maddeleri ve yüzey izi kirleticilerini giderir. Düşük-iyon özelliği, ileri düzey litografi ve biriktirme işlemleri için levhaların ultra-yüksek yüzey temizliğini koruyarak ikincil kirliliği önler.

Bileşik Islak Çözelti Formülasyonu:Entegre devrelerin yüksek-hassas mikro-nano üretim gereksinimlerini karşılayan, yarı iletken özel işlemler için yüksek-saflıkta karışık gravür ve temizleme çözümleri hazırlamak için kullanılır.

MEMS ve Gelişmiş Yarı İletken Paketleme:MEMS cihazlarının, mikro-sensörlerin ve gelişmiş çip paketleme yapılarının mikro{0}gravürlenmesi ve yüzey işlemi için uygulanarak hassas desen tanımı ve istikrarlı cihaz performansı sağlanır.

 

Paketleme ve Doldurma Standardı

 

Ambalaj Türü:Temiz-korozyona-dayanıklı HDPE sızdırmaz varil, özel yüksek-saflıkta fosforik asit ambalajı

Ortak Özellikler:25kg / 30kg küçük varil, 1000kg korozyona-dayanıklı IBC çantası

Doldurma Ortamı:Sınıf 1000 temiz oda, tamamen kapalı ultra-saf dolum sistemi, ikincil kirlenmeyi önlemek için parçacık ve yabancı madde girişini sıkı bir şekilde kontrol ediyor

Sızdırmazlık Standardı:Yüksek-sızdırmazlığa- dayanıklı sızdırmaz yapı,-kirlilik ve-bozulma önleyici, uzun-vadeli saflık stabilitesi sağlar

 

Depolama ve Raf Ömrü

 

● Serin, kuru, havalandırmalı özel kimyasal depoda saklayın; sıkıca kapalı olarak, doğrudan güneş ışığından, yüksek sıcaklıktan ve ısı kaynaklarından uzak tutun.

● Kimyasal reaksiyonları ve saflık bozulmasını önlemek için alkali maddelerden, güçlü oksidanlardan, metal tozlarından ve aşındırıcı uyumsuz malzemelerden izole edin.

● Kirliliğin zenginleşmesini ve performans değişikliğini önlemek için uzun-dönemli açık yerleşimden ve nem emiliminden kaçının.

● Raf Ömrü:Standart kapalı depolama koşullarında 12 ay

 

Kullanım ve Güvenlik Önlemleri

 

● Fosforik asit orta derecede aşındırıcı ve higroskopiktir. Operatörler standart eksiksiz KKD giymelidir: asit-dirençli eldivenler, kimyasal koruyucu gözlükler, korozyona-dirençli önlük ve koruyucu iş kıyafetleri.

● Tüm seyreltme, numune alma ve işleme işlemleri, buharın solunmasını ve cilt ve mukoza zarlarıyla doğrudan temasını önlemek için profesyonel bir çeker ocakta gerçekleştirilmelidir.

● Seyreltme sırasında, deiyonize suya yavaş yavaş fosforik asit ekleyin; Sıçramayı ve kimyasal yaralanmayı önlemek için konsantre fosforik asit içerisine asla su eklemeyin.

● Sıvının sıçraması, ciltle teması veya sızıntısı durumunda, standart çalıştırma prosedürlerine uygun olarak derhal acil temizlik yapın ve imha edin.

● Kapsamlı tehlike bilgileri, nakliye düzenlemeleri ve ayrıntılı ilk{0}yardım önlemleri için resmi SDS belgesine bakın.

 

Kalite Güvencesi

 

Her bir G4 Fosforik Asit partisi, SEMI G4 uluslararası yarı iletken endüstri standartlarına tam olarak uygun olarak üretilir, saflaştırılır ve denetlenir. Her gönderi partiye özel-resmi bir COA ile donatılmıştır. Tüm üretim ve dolum süreci, katı temiz-oda kirliliği kontrolünü ve yüksek-saflık yönetimini benimser; böylece ultra-düşük yabancı maddeler, istikrarlı toplu tutarlılık ve yüksek süreç uyarlanabilirliği sağlanır ve gelişmiş yarı iletken üretiminin sıkı ıslak işlem gereksinimlerini tam olarak karşılanır.

 

Popüler Etiketler: elektronik kimyasallar g4 fosforik asit (yarı iletken ıslak kimyasal), Çin elektronik kimyasallar g4 fosforik asit (yarı iletken ıslak kimyasal) üreticiler, tedarikçiler, fabrika

Soruşturma göndermek